dépôt chimique en phase vapeur à pression réduite
- dépôt chimique en phase vapeur à pression réduite
- cheminis garinis nusodinimas mažesniame slėgyje
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. reduced-pressure chemical vapor deposition
vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei reduziertem Druck, f
rus. химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении, n
pranc. dépôt chimique en phase vapeur à pression réduite, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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